Platine de translation piézoélectrique - XLS-1 Ultra precision

Vous entrez dans la limite de la plupart des systèmes piézo-électriques à ultrasons. Tous les avantages de notre partenaire Xeryon, mais avec un niveau de précision ultra élevé !

Description

Le Xeryon Linear Stage (XLS) est une platine de translation très précise, entraînée par un moteur piézo-électrique à ultrasons. Cela permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézo-électrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu’elle n’est pas alimentée. En conséquence, la dissipation thermique est considérablement réduite. L’encodeur intégré a une résolution de 78 nm.

Points Clés

  • Drive principle: patented Crossfixx™ ultrasonic piezo technology
  • Bearings: precision crossed-roller
  • Lifetime distance: > 100 km

Spécifications

  • Mechanical properties

Dimensions: 40 x 34 x 13 mm
Stroke with standard cage: 27 mm
Mass (w/o connector): 50 g

Load capacity: < 0.5 kg
Holding force: 1 N
Driving force: 1 N

Stage material: anodised aluminium
Cable length: 1.5 m
Connector: 1x 15-pin D-sub HD male

 

  • Motion performance (closed-loop)

Encoder type: optical, incremental
Grating period: 20 µm
Encoder resolution: 78 nm

Positioning resolution: 80 nm
 = min. step size
 = min. incremental motion

Bidir. repeatability: ± 160 nm

Max. speed: 200 mm/s
Min. speed: 2 to 5 µm/s
Speed stability: ± 1%

 

  • Error motion

Straightness/flatness error:  ± 1 – 2 µm
(depends on stage length)

 

  • Options

Vacuum (10-6 mbar): -HV
Short cage option for increased stroke: -SC

 

  • Environmental compatibility

Temp. range: -20°C to +50°C
Humidity range: 20% to 90% RH (non-cond.)
Heat dissipation (motor only): < 1 W

 

  • Controller/software

Compatible with all Xeryon controllers.
Easy-to-use Windows interface or LabVIEW driver.
C++ and Python libraries available.

 

Applications

  • Alignement
  • Scanning
  • Microscopie
  • Positionnement

Notes d'Applications et Articles Techniques