Mesures / caractérisations de couches minces

Analyse et mesures d’épaisseurs de couches minces de 5nm à 200um.

Description

Nous proposons une gamme complète de systèmes de mesure d’épaisseur de film pouvant mesurer de 5nm à 200µm pour l’analyse de films monocouches et/ou multicouches en moins d’une seconde. Les systèmes de réflectométrie en couches minces StellarNet sont constitués d’un spectromètre compact couplé à une sonde à réflectance et à une source de lumière.

Les propriétés optiques sont obtenues à partir de la réflexion et l’épaisseur est mesurée en détectant le motif de frange sinusoïdal à partir de la réflectance spéculaire de l’échantillon. Plusieurs systèmes à couche mince sont disponibles pour répondre à vos exigences en matière de mesure de couche mince et / ou optique.

Points Clés

  • Mesure d’épaisseurs de 5nm à 200um

  • Capture spectrale en temps réel pour la réflectance et/ou la transmittance

  • Bibliothèque de données sur les matériaux

  • Prend en charge des couches épaisses, minces, autoportantes et rugueuses

  • Supports Matériaux paramétrés : Cauchy, Sellmeir, EMA, Oscillateur harmonique, Oscillateur Tauc-Lorentz, Drude-Lorentz

Spécifications

Le système complet comprend :

 

  • Spectromètre compact UV-VIS (200-1100nm) et/ou NIR (900-1700nm)

  • Source lumineuse

  • Fibre optique

  • Sonde pour mesure en reflectance

  • Logiciel de paramétrage et d’acquisition SpectraWiz

  • Application spécifique pour l’analyse de couches minces

 

 

Applications

Ce système permet de mesurer et de caractériser tous types de couches minces.

Notes d'Applications et Articles Techniques