Platine de translation piézoélectrique – XLS-1 Ultimate
Platine de translation piézoélectrique - XLS-1 Ultimate
Une platine de translation piézo-ultrasonique haut de gamme avec une résolution d’encodeur de 1 nm. Pour nos clients les plus exigeants.
Description
Le Xeryon Linear Stage (XLS) est une platine de translation très précise, entraînée par un moteur piézo-électrique à ultrasons. Cela permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézo-électrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu’elle n’est pas alimentée. En conséquence, la dissipation thermique est considérablement réduite. L’encodeur intégré a une résolution de 1nm.
Points Clés
- Drive principle: patented Crossfixx™ ultrasonic piezo technology
- Bearings: precision crossed-roller
- Lifetime distance: > 100 km
Spécifications
- Mechanical properties
Dimensions: 40 x 34 x 13 mm
Stroke with standard cage: 27 mm
Mass (w/o connector): 50 g
Load capacity: < 0.5 kg
Holding force: 1 N
Driving force: 1 N
Stage material: anodised aluminium
Cable length: 1.5 m
Connector: 1x 15-pin D-sub HD male
- Motion performance (closed-loop)
Encoder type: optical, incremental
Grating period: 20 µm
Encoder resolution: 1 nm
Positioning resolution: 25 nm
= min. step size
= min. incremental motion
Bidir. repeatability: ± 50 nm
Max. speed: 200 mm/s
Min. speed: 2 to 5 µm/s
Speed stability: ± 1%
- Error motion
Straightness/flatness error: ± 1 – 2 µm
(depends on stage length)
- Options
Vacuum (10-6 mbar): -HV
Short cage option for increased stroke: -SC
- Environmental compatibility
Temp. range: -20°C to +50°C
Humidity range: 20% to 90% RH (non-cond.)
Heat dissipation (motor only): < 1 W
- Controller/software
Compatible with the XD-M controller series.
Easy-to-use Windows interface or LabVIEW driver.
C++ and Python libraries available.
Applications
- Alignement
- Scanning
- Microscopie
- Positionnement
- …
