Platine de translation piézoélectrique - XLS-1 High precision

Vous entrez dans le monde submicronique. La compatibilité sous vide est une option et en utilisant une cage plus courte, vous gagnez en distance de course. Nos modèles hautes précisions sont le parfait compromis entre précision et prix. Découvrez-les !

Description

Le Xeryon Linear Stage (XLS) est une platine de translation précise, entraînée par un moteur piézo-électrique à ultrasons. Cela permet un positionnement rapide avec une précision nanométrique. Le moteur piézo-électrique autobloquant maintient la position de la platine lorsqu’elle n’est pas alimentée. En conséquence, la dissipation thermique est considérablement réduite. L’encodeur intégré a une résolution de 312 nm.

Points Clés

  • Drive principle: patented Crossfixx™ ultrasonic piezo technology
  • Bearings: precision crossed-roller
  • Lifetime distance: > 100 km

Spécifications

  • Mechanical properties

Dimensions: 40 x 34 x 13 mm
Stroke with standard cage: 27 mm
Mass (w/o connector): 50 g

Load capacity: < 0.5 kg
Holding force: 1 N
Driving force: 1 N

Stage material: anodised aluminium
Cable length: 1.5 m
Connector: 1x 15-pin D-sub HD male

 

  • Motion performance (closed-loop)

Encoder type: inductive, incremental
Grating period: 1280 µm
Encoder resolution: 312 nm

Positioning resolution: 350 nm
 = min. step size
 = min. incremental motion

Bidir. repeatability: ± 700 nm

Max. speed: 200 mm/s
Min. speed: 2 to 5 µm/s
Speed stability: ± 1%

 

  • Error motion

Straightness/flatness error:  ± 5 – 10 µm
(depends on stage length)

 

  • Options

Vacuum (10-6 mbar): -HV
Short cage option for increased stroke: -SC

 

  • Environmental compatibility

Temp. range: -20°C to +50°C
Humidity range: 20% to 90% RH (non-cond.)
Heat dissipation (motor only): < 1 W

 

  • Controller/software

Compatible with all Xeryon controllers.
Easy-to-use Windows interface or LabVIEW driver.
C++ and Python libraries available.

 

Applications

  • Alignement
  • Scanning
  • Microscopie
  • Positionnement

Notes d'Applications et Articles Techniques

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